感應耦合電漿光學發射光譜儀(Inductively coupled plasma optical emission spectrometry，ICP-OES）
ICP-OES主要為偵測樣品中元素種類與濃度，分析前，所有液體、固體樣品需經由酸消化方法處理。樣品溶液於霧化後，所形成之氣膠(Aerosol)藉由載流氣體輸送至電漿焰炬，再經由無線電頻感應耦合電漿加熱，將待測元素激發。並透過各激發原子或離子所發射出之光譜線，經光柵(Grating)分光分解出各特定波長之發射譜線。各譜線強度最後再由光檢器(Photosensitive devices)予以偵測樣品所含相關元素及濃度。
特點:
1. 單一分析方法可同時偵測多種元素(最多70種)
2. 分析速度快，通常可在幾分鐘內完成多種元素的定量分析
3. 偵測極限低，可達ppb等級分析
4. 樣品消耗少，並適用於樣品自動化量測
侷限性:
1. 僅能用於元素分析，無法針對待測物的結構與型態做分析；並較難應用於非金屬元素的分析
2. 若待測元素間的波長相近時，容易產生元素判讀的干擾析
3. 樣品分析前，需確認樣品已完全消化，避免分析數據的誤判
4. 帶有多電子或多原子的離子種類，會造成定量上的困難
5. 設備投入金額較高
6. 載流氣體消耗高，日常耗材費用較高
針對現行所管制的環保有害物質分析能力，如下表:
| 種類 | 有害物質 | 是否可分析？ |
|---|---|---|
| RoHS管制重金屬 | 鎘（Cd）、鉛（Pb）、汞（Hg） | 可 |
| RoHS管制六價鉻 | 六價鉻（Cr6+） | 可測總鉻（Cr） |
| RoHS管制有機化合物 | 多溴聯苯（PBB）、多溴聯苯醚（PBDE） | 不可 |
| RoHS管制塑化劑 | DBP、DIBP、BBP、DEHP | 不可 |
| 無鹵 | 氯（Cl）、溴（Br） | 不可 |
| 其他無機化合物及重金屬 | 三氧化二砷、砷（As）、硒（Se）、銻（Sb）、鋇（Ba）... | 可 |
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