EDS
何謂EDS？
EDS為能量散射光譜儀（Energy Dispersive Spectrometer）的簡稱，主要利用電子束所激發的特性射線螢光來進行待測材料的定性或半定量成份分析。
EDS的原理
當原子的內層電子受到外來能量源（如：電子束、離子束等光源或電磁波）的激發而脫離原子時，原子的外層電子將很快的遷降至內層電子的空穴並釋放出兩能階差能量（或稱位能差）。被釋出的能量可能以特性射線螢光的形式釋出，或者此釋出的能量將轉而激發另一外層電子使其脫離原子。由於各元素之能階差不同，因此透過此特性射線螢光的能量即可鑑定待測樣品的各個組成元素進而得到材料的成份組成。
EDS的應用領域
EDS已為極普遍的電子顯微鏡（SEM）附屬分析儀器，可做材料所含元素的定性、半定量、面掃描及線掃描分析。
EDS的優點有：
- 快速並可同時偵測不同能量的能譜
- 儀器之設計較為簡單
- 操作簡易，不需作電子束的對準（Alignment）及聚焦（Focusing）
- 使用之一次電子束電流較低可得較佳的空間解析度，且較不會損傷試片表面
然而，EDS仍具有以下幾項明顯的缺點：
- 能量解析度差
- 定量分析能力較差
- 對輕元素的偵測能力較差
- 偵測極限及解析度較差
LINE
Facebook