EDX
何謂EDX？
EDX（或EDXS、XEDS）為能量散射光譜儀（Energy Dispersive X-ray Spectrometer）的簡稱，主要利用X射線所激發的XRF射線螢光來進行待測材料的定性或定量成份分析。
EDX的原理
當原子的內層電子受到X射線的激發而脫離原子時，原子的外層電子將很快的遷降至內層電子的空穴並釋放出兩能階差能量（或稱位能差）。被釋出的能量以XRF射線螢光的形式釋出，或者此釋出的能量將轉而激發另一外層電子使其脫離原子。由於各元素之能階差不同，因此透過此XRF射線螢光的能量即可鑑定待測樣品的各個組成元素進而得到材料的成份組成。
EDX的應用領域
EDX已極為普遍的應用於材料主成份分析、RoHS有害物質分析、各國環保有害物質管控與金屬電鍍膜厚分析，透過XRF射線螢光，針對材料所含元素進行定性、定量、面掃描及線掃描分析。
EDX的優點有：
- 快速並可同時偵測不同元素的XRF射線螢光能量
- 儀器之設計較為簡單
- 透過已知濃度標準品，即可迅速進行材料的定量分析
- 具有材料非破壞的檢測特性
然而，EDX仍具有以下幾項明顯的缺點：
- 偵測極限較差
- 對輕元素的偵測能力較差
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