【XRF軟體】XRF應用於膜厚樣品分析
膜厚量測的原理是利用X射線的能量激發樣品中的金屬元素,使樣品中的元素產生特性X射線,通過檢測器檢測到螢光的數目來計算金屬鍍層的厚度。距離表面越深的部分,其產生的特性X射線越少;而越接近表面的元素,其特性X射線則越多,依照此原依照此原理,可畫出以下關係圖:
故XRF透過檢測器分析不同元素的X射線強度,同時再配合XRF中的軟體,即可針對樣品進行鍍層厚度的計算,最多可以計算出含底材一共五層的鍍層厚度,分析數據達到um(micrometer)等級。
膜厚量測的原理是利用X射線的能量激發樣品中的金屬元素,使樣品中的元素產生特性X射線,通過檢測器檢測到螢光的數目來計算金屬鍍層的厚度。距離表面越深的部分,其產生的特性X射線越少;而越接近表面的元素,其特性X射線則越多,依照此原依照此原理,可畫出以下關係圖:
故XRF透過檢測器分析不同元素的X射線強度,同時再配合XRF中的軟體,即可針對樣品進行鍍層厚度的計算,最多可以計算出含底材一共五層的鍍層厚度,分析數據達到um(micrometer)等級。
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